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    1800度高温烧结炉

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    单向退火炉

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    单向退火炉

    • 所属分类:退火炉

    • 点击次数:
    • 发布日期:2020/05/15
    • 规格:
    • 类型:
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    • 详细介绍

    单向退火炉

    退火目的是什么?在高温(1750℃)加热状态下,通过高温促使晶体晶格打乱后重新排列,同时清除一些晶格内部缺陷,从而释放内部应力,为后续加工奠定良好的基础。晶体退火恒温时间为36小时;每炉次退火时间为5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翘曲低于1丝,线小于2毫米、内应力、崩边现象及线痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也达到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同时延长了晶棒的切割线的使用寿命。


    单向退火炉



    主要技术参数

    型号

    LGYL-1800

    单向退火炉

    LGYL-1800

    双向退火炉

    LGYL-1650

    单向退火炉

    LGYL-1650

    双向退火炉

    有效工作区尺寸(mm)

    860*340*300

    860*340*300

    860*420*450

    860*420*450

    额定功率

    57KVA

    57KVA

    57KVA

    57KVA

    每炉装载量

    4寸晶棒约5800mm

    4寸晶棒约5800mm

    4寸晶片约9000mm

    4寸晶片约9000mm

    额定温度

    1750℃

    1750℃

    1600℃

    1600℃

    保温材料

    氧化锆纤维

    氧化锆纤维

    氧化铝纤维

    氧化铝纤维

    移动轨道行程速率

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    1040.4mm/分

    升降平台行程速率

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    92.8mm/分

    操控方式

    手动与自动

    手动与自动

    手动与自动

    手动与自动

    工作电压

    电炉加热380V

    仪表工作220V

    电炉加热380V

    仪表工作220V

    电炉加热380V

    仪表工作220V

    电炉加热380V

    仪表工作220V

    运行机构

    丝杆、轨道、电动运行

    丝杆、轨道、电动运行

    丝杆、轨道、电动运行

    丝杆、轨道、电动运行

    加热元件

    1900型硅钼棒(U型)

    1900型硅钼棒(U型)

    1800型硅钼棒(U型)

    1800型硅钼棒(U型)

    控制精度

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    ≤±0.5℃

    控温方式

    100段PID智能程序控温,可编程序控制器(PLC)控制+触摸屏+工控机


    本文网址:http://www.maijiliteam.com/product/593.html

    关键词:单向退火炉,1800退火炉

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